在SMC氣缸零件表面與液壓油相對運動時，溶解在液壓油中的氣體 容易析出并形成氣泡。這些氣泡流到高壓區后發生破裂，瞬間產生的高溫高壓顯微射流和沖擊力反復作用于液壓缸零件表面，便使零件表面產生氣蝕。液壓缸氣蝕產生的條件與液壓系統結構、液壓缸零件材料、液壓油質里、制造及維修等方面都有一定關系。
1、SMC氣缸系統的管路、控制閥i ]等部件的通路過窄以及彎管過多，將使液壓油溫度升高，沖擊力增大，容易在液壓油中產生氣泡，進而造成液壓缸氣蝕。
2、SMC氣缸如果制造液壓缸的材料具有較好的強度、韌性及抗腐蝕性，則其抗氣蝕能力較好:否則易發生氣蝕。另外材料組織的均勻度對氣蝕產生的影響也較大，材料組織越不均勻，在其強度薄弱處及抗腐蝕性低的地方就容易產生氣蝕。
3、SMC氣缸是否產生氣蝕的一個重要因素。液壓油在工作中不可避免地與閥門、管路等發生沖擊，如果液壓油的抗泡沫性差，就很容易產生泡沫，從而導致液壓缸等部位產生氣蝕。若液壓油壓力變化頻率過快、過高，也將促使氣泡的形成，并加速氣泡的破裂速度。比如液壓缸進、回油口處，由于壓力變化頻率相對較高，氣蝕的程度也相對搞于其他部位。
4、SMC缸或維修質里對其氣蝕的影響也不可小視。如果在裝配或維修時未對液壓系統充分排氣，將導致系統中存在氣體，在高溫、高壓的作用下，液壓缸將產生氣蝕。
